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滑阀式真空阀：
在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿阀壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把阀腔分成两个可变容积。滑阀式真空阀的抽气原理与旋片阀相似，但两者结构不同。滑阀式真空阀是利用滑阀机构来改变吸气腔容积的，故称滑阀阀。
3、定片式真空阀：
在阀壳内装有一个与阀内表面靠近的偏心转子，阀壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将阀腔分成两个可变容积。定片式真空阀抽速较小，有单级、双级之分，双级阀的极限真空可达10-1Pa。阀的结构简单、使用寿命较长和检修容易，但由于其工作性能不如旋片阀，所以目前已经很少生产和应用